仪器介绍：

蔡司场发射扫描电子显微镜300具有出色的分辨率、更高的对比度和更大且无失真的成像视野。可方便地选择适合于样品的真空度等参数，使初学者也能很快掌握。

        器件的信号采集系统效率高，分辨率性能优异，可在高真空或变压模式下实现快速、高质量、无畸变的大范围成像。高分辨率电子枪模式，用于磁性样品、非导电样品和射束敏感样品的低电压成像。蔡司独家的柱内能量选择性背散射检测器，即使在低电压下也能轻松获得样品材料的高质量对比度图像。此外，NanoVP技术使色谱柱中的Inlens二次电子检测器能够对非导电样品进行高灵敏度和高分辨率成像。

        设备参数：

生产厂家：蔡司（德国）。

型号:GeminiSEM 300

电子枪：ZrO/W（100）热阴极场发射。

加速电压：20V～30 kV

二次电子分辨率：1千伏时为1.2纳米，15千伏时为0.7纳米。

低真空模式：10~60 帕可调。

放大率：1200-2,000,000。

样品室尺寸：330毫米（φ）×270毫米（高）

样品台行程：X/Y=130毫米，Z=50毫米，R=360°，T=-4°～+70°。

        主要特点：

1. 无交叉光路设计。

2. 光束助推器在镜头筒内减速。

3. 在镜筒内的正光轴上设置有环形二次电子探测器。

4. 出色的低电压高分辨率成像能力。

5. 出色的光束稳定性，可靠的EBSD分析。